FOR 845 - Subproject: Stochastic nonlinear field equations as models for self-organized nanostructures during ion beam erosion (2nd fundung period)

Basic data for this project

Type of project: Subproject in DFG-joint project hosted outside University of Münster

Duration at the University of Münster: 01/10/2010 - 30/09/2013 | 2nd Funding period

Description

Ziel des Projektes ist es – aufbauend auf den Resultaten des Erstantrags und jüngsten Entwicklungen speziell zur Strukturbildung bei Si - das theoretische Verständnis von Strukturbildungsphänomenen auf Oberflächen, die bei der Materialpräparation von Halbleitermaterialien durch Ionenstrahlerosion entstehen, weiterzuentwickeln, wobei die raumzeitliche Oberflächendynamik durch Kontinuumsmodelle in Form stochastischer verallgemeinerter Kuramoto-Sivashinsky-Gleichungen beschrieben werden. Im Fokus des Interesses steht hierbei einerseits die Modellierung und Kontinuumsinterpretation von Redepositions-, Sekundärerosions- und Sekundärdepositionsprozessen, die wahrscheinlich erst das Auftreten wohlgeordneter Oberflächenstrukturen in Kontinuumsgleichungen ermöglichen, sowie konkret für strukturbildende Phänomene bei Si die Erfassung des Gesamtprozesses der Erosion als Kombination von Deposition von Verunreinigungen, Erosion von Targetmaterial und Verunreinigungen und möglicher Redeposition.

Keywords: nanophysics; ion beam erosion; theoretical conncepts; continuum modeling

Funding identifier: LI 498/3-2

Funder / funding scheme:

DFG - Research Unit (FOR)

Project management at the University of Münster

Linz, Stefan

Professur für Theoretische Physik (Prof. Linz)

Applicants from the University of Münster