FOR 845 - Teilprojekt: Stochastische nichtlineare Feldgleichungen zur Modellierung selbstorganisierter Nanostrukturen bei der Ionenstrahlerosion

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Beschreibung

Ziel des Projektes ist es – aufbauend auf den Resultaten des Erstantrags und jüngsten Entwicklungen speziell zur Strukturbildung bei Si - das theoretische Verständnis von Strukturbildungsphänomenen auf Oberflächen, die bei der Materialpräparation von Halbleitermaterialien durch Ionenstrahlerosion entstehen, weiterzuentwickeln, wobei die raumzeitliche Oberflächendynamik durch Kontinuumsmodelle in Form stochastischer verallgemeinerter Kuramoto-Sivashinsky-Gleichungen beschrieben werden. Im Fokus des Interesses steht hierbei einerseits die Modellierung und Kontinuumsinterpretation von Redepositions-, Sekundärerosions- und Sekundärdepositionsprozessen, die wahrscheinlich erst das Auftreten wohlgeordneter Oberflächenstrukturen in Kontinuumsgleichungen ermöglichen, sowie konkret für strukturbildende Phänomene bei Si die Erfassung des Gesamtprozesses der Erosion als Kombination von Deposition von Verunreinigungen, Erosion von Targetmaterial und Verunreinigungen und möglicher Redeposition.